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| 您現(xiàn)在的位置： 東莞市天測(cè)光學(xué)設(shè)備有限公司 > 供應(yīng)信息> VIEW Precis 200影像測(cè)量?jī)x |
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| 發(fā)布時(shí)間： |
2024/12/16 16:36:00 |
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VIEW Precis 200影像測(cè)量?jī)x 詳細(xì)說明 |
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新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測(cè)系統(tǒng)做出來，采用了VMM 公司好的設(shè)計(jì)和技術(shù)。
, 新款Precis 包含了很多可配置選項(xiàng)，使設(shè)備好通用可某靠。
擴(kuò)展了Z軸范圍 – 2.5mm, 5mm or 100mm
透射照明
完整電子繪圖 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 標(biāo)準(zhǔn)
符合人體工程學(xué)的操作員控制臺(tái) ，帶有隱藏鍵盤托盤, 可調(diào)節(jié)高度和角度的控制面板和顯示器, SEMI S8 符合
全自動(dòng)顯微鏡，所有設(shè)置計(jì)算機(jī)控制
某佳分辨率像素?cái)z像頭
VIEW Metrology Software (VMS™) 可測(cè)組件很廣泛, 可選CAD導(dǎo)入 以及完整的幾何尺寸和公差導(dǎo)入。
MMWin – 晶圓片 和Mask計(jì)量軟件 –晶圓片的重要尺寸和迭置重合測(cè)量, 滑塊 ABS,光掩模和平板顯示器.
標(biāo)準(zhǔn)                        可選
X,Y,Z行程(mm):        200 x 200 x 5               載重:                 12 kg
XY精度:                    E1=(0.25+2L/1000)um
Z 精度:                     E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)
分辨率：                    0.01 微米
視場(chǎng)測(cè)量精度和重復(fù)性：0.01 μm (100x)
直流伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
本產(chǎn)品網(wǎng)址：http://m.zgyywsbw.com/sjshow_507809132/
手機(jī)版網(wǎng)址：http://m.vooec.com/trade_507809132.html
產(chǎn)品名稱：VIEW Precis 200影像測(cè)量?jī)x |
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